$AFKS $ELMT В Зеленограде создали новую установку для производства чипов. 💻 В зеленоградском НИИТМ (ГК "Элемент") разработали первую отечественную установку для плазмохимического осаждения на кремниевых пластинах диаметром 300 мм - одного из ключевых процессов при производстве микросхем. Сейчас опытный образец проходит заключительные доработки, летом его испытают, а после запустят в серийное производство. В НИИТМ говорят, что разработанные и апробированные технологии применимы как для существующих проектных норм, так и для перспективных, в том числе для интегральных схем с топологией 28 нанометров. И создание установки можно назвать еще одним шагом к полному циклу производства микроэлектроники в России. ⚙️ Оборудование модульное, а потому его можно адаптировать под конкретные производства и менять конфигурацию для работы с пластинами 200 мм. Это позволяет тестировать работу установки на производствах с учетом действующих 200-миллиметровых техпроцессов и обеспечить своевременную подготовку к переходу на работу на 300-миллиметровых пластинах.